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M(Au、Ag、Ti)/TiO2/Pt器件的电致阻变性质

李璐; 邹利兰; 杨庆生; 谭聪林广东海洋大学电子与信息工程学院; 广东湛江524088

二氧化钛薄膜电致阻变顶电极

摘要：该文分析了不同的类型的金属顶电极对TiO2薄膜电致阻变效应的影响,通过对器件I-V曲线的分析,发现器件/Pt具有稳定的电致阻变性质,且Ag/TiO2/Pt器件的置位电压和复位电压较小。相反的,器件Ti/TiO2/Pt的电致阻变性质具有不稳定的电致阻变性质,这与Ti电极容易被氧化在界面处形成氧化物有关,界面处氧化物的形成影响了器件的电致阻变性质。结合电致阻变效应机制的分析,表明顶电极材料会影响RRAM器件的电致阻变性质。

简介：《科技资讯》（半月刊）创刊于2003年，由北京市科学技术研究院主管，北京国际科技服务中心;北京合作创新国际科技服务中心主办，CN刊号为：11-5042/N，自创刊以来，颇受业界和广大读者的关注和好评。

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