一种微电容式传感器检测电路的分析与改进
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微电容式传感器
检测电路
问题分析
摘要：电容式传感器可以将非电量变化转换为电容量变化，具有较高的灵敏度、相对较低功耗等特点，已被广泛应用在压力、湿度、温度和加速度等测量中。本研究分析的微电容式传感器是将敏感电容、接口电路集成于一块芯片上。这种传感器需要匹配的接口集成电路才能满足精度的需求。分析该微电容式传感器接口电路问题并测试样片，结果显示输出频率与理论值存在较大的偏差。通过对原因的寻找，得出几点解决方案，包括设定启动电路、改善开关控制电路等。
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