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集成电路测试系统微小微电子参量校准技术研究

尹梦宾 北京工业大学; 北京100022

摘要:利用集成电路测试系统,可以完成小于1m V和1m A的直流电压和电流的测试。而想要确保测量值准确可靠,还要使用相应的校准技术进行微小微电子参量的校准。基于这种认识,本文对微小微电子参量特性展开了分析,然后对其校准技术展开了研究,从而为关注这一话题的人们提供参考。

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