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垂直腔面发射激光器氧化孔结构对器件激射性能的影响

梁静; 贾慧民; 冯海通; 唐吉龙; 房丹; 苏瑞巩; 张宝顺; 魏志鹏 长春理工大学理学院高功率半导体激光器国家重点实验室; 吉林长春130022; 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所; 江苏苏州215123
激光器   垂直腔面发射激光器   台面结构   氧化孔   激射性能  

摘要:为实现894.6 nm低阈值、高稳定性、单模激光输出,设计了具有不同台面刻蚀结构的垂直腔面发射激光器(VCSEL)器件,研究了台面直径和氧化孔结构对器件激射性能的影响。研究结果表明:VCSEL台面直径越大,阈值电流越大;氧化孔径越偏向圆形,边模抑制比越高。制备了氧化孔为圆形、直径为4.4μm的VCSEL器件,该器件在70~90℃工作温度及0.6 mA驱动电流下实现了894.6 nm单模激光输出,边模抑制比高于35 dB。

简介:中国激光杂志创刊于1974年,办刊以来,融指导性、实用性、知识性于一体,发行周期为:半月刊,经过杂志社调整,不断提高了刊物的整体质量,在行业内有一定的影响。

注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社

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